Robusta MEMS-baserade trycksensorer

Två nya trycksensorer från Melexis mäter absolut tryck upp till 50 bar. Linjäriteten avviker med mindre än 0,2 procent av fullt utslag och sensorerna är kvalificerade för fordonstillämpningar.

 

Sensorelementen i MLX90815 och MLX90816 består av en piezoresistiv Wheatstonebrygga som är kopplat till ett kiselbaserat tryckmembran tillverkat i MEMS-teknik. När sensorn utsätts för tryck uppträder en differentiell spänningsskillnad på utgångarna av bryggan. Typisk känslighet för MLX90815 är 1,5 mV/V/bar och för MLX90816 0,5 mV/V/bar.
Bägge sensorerna har arbetstemperaturer mellan -40 °C och +150 °C och sensorerna klarar relativt svår miljö utan extra kapsling. I korrosiva eller aggressiva miljöer kan sensorerna monteras i oljefyllda kapslar.

Comments are closed.