Annons

IMEC bygger ut för 450 mm wafer

Det belgiska forskningsinstitutet Imec, som var tidigt ute med att bygga en egen 300 mm CMOS-fab, har nu invigt ytterligare 1200 m2 renrum, den här gången avsett för produktion på 450 mm wafer i ultraren miljö. Det gör att Imec totalt har renrum med en yta av 10 000 m2.  Man bygger även ut för laboratorier och kontor för en totalyta av 80 000 m2.

Den första utrustningen för det nya renrummet anlände i maj, en coater/developer från TEL (Tokyo Electron Limited). Denna kommer att anslutas till företagets nya EUV-scannaer, NXE3100 från ASML, som kommer att levereras mot slutet av året. Förutom denna, andra generationens skanner kommer ASML att nästa år lansera en ny modell som är lämplig för kommersiellt serietillverkning.
Parallellt med bygget av renrummet börjar Imec även bygga upp nya lokaler för laboratorier där man kommer att forska på solceller, byggda av kisel eller organiska material, samt på bioelektronik, Dessa lab omfattar ytterligare 1600 m2 och kommer att inrymma forskning enligt det nyligen introducerade NERF-initiativet. NERF-laboratoriet kommer att färdigställas under 2011 och där kommer solcellsforskningen gradvis att ta plats.
Under 2010 kommer Imec att påbörja uppförandet av ytterligare en byggnad, ritad av den österrikiske arkitekten Baumschlager-Eberle. Den höga byggnaden kommer att ha 16 våningar och ha plats för 450 personer. Här kommer det att finnas utrymme för en aula och för lab för ljusgenerering.
– Utbyggnaden av Imec har kunnat ske med hjälp av stöd från den belgiska regeringen, säger Luc Van den hove, vd för Imec. Jag är övertygad om att utbyggnaden av Imec kommer att spela en avgörande roll för framtida ekonomisk tillväxt av högteknologi i Flandern.

 

Comments are closed.