Annons

Epiluvac säljer SiC-reaktor

Epiluvac AB i Lund har fått en order på sin avancerade reaktor för att tillverka halvledare i kiselkarbid. Ordern kommer från ett ledande forskningscenter i Europa.
Epiluvacs reaktor EPI-1000X har en helt ny typ av konstruktion. Såväl gasflöden som upphettningssystem är unika och de ger en potential till att drastiskt minska problem med partiklar och parasitära deponeringar.


Reaktorn är avsedd för en enda wafer, men är ändå snabb nog fungera i produktion
Läs mer

Läs temaartiklarna om halvledarteknik

Läs temaartiklarna om distribution

Ladda ner den nya komponentöversikten

Klicka här för att prenumerera på
Elektronik i Nordens Nyhetsbrev

Läs nyhetsbreven på webben

Comments are closed.