Annons

Svensk reaktor för deposition på material med brett bandgap

Epiluvac AB, som leds av entreprenören Bo Hammarlund, kan nu erbjuda CVD-reaktorer i olika  konfigurationer för deponering av epitaxi på kiselkarbid.

CVD, “chemical vapour deposition” kan till svenska översättas som kemisk deposition i ångfas. Epiluvac AB startades 2013 med syftet att utveckla och sälja utrustning som behövs för deposition.
Grunden ligger i den pionjärforskning som bedrivits vid Linköpings universitet där man med framgång utvecklade en “hot-wall CVD reactor”, enkelt beskrivet som en CVD-reaktor vars väggar är upphettade. Reaktortypen har med framgång använts i prestigefulla lab över hela världen och är känd för sina utpräglat goda kvaliteter.
Epiluvac har som affärsidé att utveckla het-väggs CVD-reaktorer.
Idag har Sverige ett unikt kluster av företag och universitet som ligger i täten för utveckling av teknologier för kiselkarbid, SiC.
– Vi är övertygade om att Epiluvac AB kommer att kunna leverera bästa möjliga CVD-verktyg till forsknings- och utvecklingslab över hela världen, säger Bo Hammarlund som är vd för Epiluvac AB.
– Systemetuppbyggnaden har under tre årtionden bevisligen uppfyllt de höga förväntningar som världens bästa forskare ställer.
– Det är också vår ambition att ha en nära kontakt med våra kunder för att kundanpassa verktygen för speciella behov. Vi har mycket erfarenhet av att göra detta. Med det unika kluster av kiselkarbidföretag vi har i Sverige kan vi också ta hand om nya krav i tidiga utvecklingsfaser, för inte bara SiC, utan även GaN, AlN och grafen.
Het-väggs CVD-reaktorer har redan visat sig framgångsrika för att tillverka grafen.
Epiluvac deltar i det strategiska innovationsprogram som leds av Chalmers universitet i Göteborg.
Epiluvac AB har kontor och tillverkning i teknikparken Ideon i Lund, nära Lunds universitet och de multi-disiplinära forskningsenheterna ESS och Max IV.

 

Comments are closed.