Annons

Kopparkatalysator för nanotrådar kompatibel med CMOS-teknik

Det franska laboratoriet för Electronics & Information Technology (CEA-Leti) har i ett projekt visat att nanotrådar i kisel kan syntetiseras med hjälp av en kopparbaserad katalysator och att den nya tekniken kan bli kompatibel med CMOS tillverkningsteknik.

Det franska forskningsinstitutet för mikro- och nanoteknologier menar att de brutit ny mark genom möjligheten till integrering av nanoteknik med traditionell CMOS chipteknik. Leti:s forskare kan få nanotrådarna att växa vid 400°C genom att använda en kopparbaserad katalysator och en okonventionell prepareringsmetod. Det är en mycket lägre temperatur än vad som tidigare åstadkommits genom att använda koppar.

Enligt Leti kommer det här, som de betraktar som ett teknologiskt genombrott, att hjälpa till att överbrygga gapet mellan CMOS-teknologin och ”bottom-up” växtprocessen av nanotrådar. Det förväntas enligt forskarna kunna påverka IC-marknaden genom att möjliggöra att addera det forskarna benämner nya icke-digitala funktioner – såsom sensorer och avancerade fotovoltaiska arkitekturer – till processer i CMOS chiptillverkning.

I en nyligen publicerad artikel i Nature Nanotechnology har forskarna från Leti förklarat att de lyckats uppnå sina resultat genom att inta en förutsättningslös inställning till ett välkänt axiom att växa nanotrådar. Förut har forskarna trott att oxiderade metaller inte är lämpliga för nanotrådssyntetisering så vanligtvis har oxiden försökts avlägsnas. Leti:s forskare oxiderade istället kopparkatalysatorn och använde den höga kemiska aktiviteten i oxider för att sänka syntetiseringstemperaturen för nanotråden. Leti:s resultat visar att möjligheten att växa nanotrådar bestående av kisel tillsammans med en CMOS-kompatibel katalysator och vid CMOS-kompatibla temperaturer är möjligt.

CEA är en fransk forsknings- och teknologiorganisation med aktiviteter inom tre huvudområden: Energi, Teknologier för Information och hälsovård, och försvar och säkerhet Inom CEA, arbetar Laboratoriet för Electronics & Information Technology (CEA-Leti) med företag för att stärka deras konkurrenskraft genom tekniska innovationer och tekniköverföring.

Comments are closed.